光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器

分辨率:最高可達0.006μm

線性精度:最高0.2μm

采樣頻率:最高33kHz

光譜共焦位移傳感器
  • 性能特點
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· 核心優勢:白光經色散透鏡分解為不同波長的單色光,利用波長與焦距的精準對應關系,實現非接觸式位移測量——即使是玻璃、薄膜、亞克力、水膜等透明或多層透明材質,也能精準穿透各層界面,無盲區捕捉真實測量數據,徹底擺脫了傳統光學測量對材質透光率、反射率的依賴。

· 不挑材質:對玻璃、薄膜、亞克力、水膜等透明/多層透明物體無盲區測量,金屬、塑料等物體也可穩定高精度測量,不受透光率、反射率影響;一款可測所有材質的高端測量傳感器

· 測量距離9.5至80mm多量程可選,滿足多數常規距離測量需求

· 輸出方式:支持網口TCP/IPRS2324-20mA電流、0-10V電壓等多種輸出,適配不同系統接口;

· 極限性能:分辨率0.006μm,絕對精度最高0.2μm33KHz采樣頻率,實現納米級動態監測;

· 智能協同:支持12光譜頭,對射測厚的不二選擇,內置數據存儲可存儲120萬個數據,并且具有編碼器觸發功能,與運動平臺無縫聯動;

· 光譜應用:

    厚度檢測:用于透明/半透明材料(如玻璃、薄膜、光學涂層)的厚度測量,可同時測量上下表面。


    微觀形貌分析:在半導體、微電子行業中檢測晶圓、芯片表面的平整度、臺階高度。


    三維輪廓掃描:配合掃描運動,實現對復雜曲面(如精密齒輪、模具、生物樣本)的高分辨率三維重建。


    表面缺陷檢測:檢測材料表面的劃痕、凹坑、顆粒污染等,適用于光學元件、金屬拋光件、顯示屏等高質量表面的在線質檢。


    透明與多層材料測量:利用其區分不同反射面的能力,可測量夾層玻璃、多層涂鍍材料的各層厚度或間隙。


    動態位移監測:實時監測振動、形變或位移變化,例如機械臂末端定位、精密軸承運動分析、熱膨脹測量等。


    生物醫學與科研:活體組織形變測量、細胞形態觀察、材料熱膨脹系數檢測等需高精度非接觸的實驗室場景



光譜共焦位移傳感器

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